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緊密跟隨國家產業指導及技術發展
微顯示科普——硅基OLED瀏覽數:435
9月1日,LG Display副總裁Yang Joon-young在首爾The ELEC Metaverse Conference上發表演講,表示OLEDoS將成為AR/VR微顯示器市場的主流技術。OLEDoS即OLED on Silicon,或稱Micro OLED,或稱硅基OLED,是一種結合半導體制程工藝和 OLED 技術,以單晶硅晶圓為基底制備OLED器件的新型顯示技術,可以說是集成了半導體和OLED這兩大高精尖技術的結晶,硅基OLED也被業內人士稱為“最具成熟性”的“全新高科技顯示產品”。

                                                                                                                 
        視頻詳情              
視頻源:Epson

  • 結構工藝

硅基OLED器件結構如下圖,包括驅動背板和OLED器件兩部分。驅動背板采用標準的CMOS工藝制備,形成像素電路、行列驅動電路以及其他的功能電路,此步驟在晶圓代工廠進行。CMOS電路的上方制作圖形化的金屬層,作為OLED器件陽極,此步驟在晶圓代工廠或者顯示面板廠均可制備。然后在陽極上方制作完整OLED器件,通常包括空穴注入層、空穴傳輸層、發光層、電子傳輸層、電子注入層、半透明的頂電極,頂電極上制備薄膜封裝層。如采用WOLED+CF的發光方式(OLED彩色化技術可參見微顯示器科普——OLED彩色化技術),需要繼續制備色阻層,最后使用玻璃蓋板進行貼合封裝。OLED及后續步驟均在顯示面板廠進行。

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  • 性能特點

硅基OLED采用成熟的集成電路CMOS工藝,一般100 nm以上制程即可,PPI可以做到3500甚至5000以上,其像素尺寸為傳統顯示器件的1/10,精細度遠高于傳統器件。硅基OLED采用自發光模式,亮度高,一般在1500 nit以上,優秀的產品可達7000 nit,滿足VR以及AR的需求。硅基OLED響應速度快,μs級,功耗低,比LCD小20%左右;色彩鮮艷,對比度高,工作溫度寬(固態器件),這些都是高端AR/VR眼鏡必不可少的性能需求。IC方面,手機的驅動IC和像素電路是獨立的,而硅基OLED的驅動IC和像素電路是集成在一起的,其技術主要掌握在深圳云英谷,北京數字光芯,美國的高平公司等IC設計公司手中。該方式的好處是集成度高,但是帶來的問題也很多,如開發難度高,通用性差。因此硅基OLED IC也在朝著2chip模式發展:驅動IC獨立,通用性高;像素電路由顯示面板廠單獨設計,如此可采用不同的CMOS工藝節點制備以降低成本,同時產品開發的靈活度將大幅提升。
圖片圖源:LG Display

AR/VR微顯示領域可供選擇的技術包括Micro LED、硅基OLED、Fast-LCD、LCoS等。Micro LED目前尚無法實現量產,硅基OLED相比其他技術具備快速響應、高分辨率、高對比度、低功耗、大視角等明顯的優勢(具體對比見下表),由于當前成本較高、產能有限,市場普及率還有待提升。

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  • 產品市場

最新發布的和即將發布的AR/VR產品越來越多采用硅基OLED技術。AR如Nreal Air、Rokid Air、聯想Glasses T1、米家眼鏡相機等VR如GOOVIS VR、大疆Goggles 2、以及即將發布的蘋果MR、PS VR2,均已明確采用硅基OLED技術。AR/VR眼鏡兩個重要技術點光學方案和微顯示屏需要互相搭配,目前光學方案的技術路線已較明確:VR向Pancake演變,AR向光波導演變,這兩種光學方案的光損都比較嚴重,因此需要微顯示屏提供更高的亮度。LCD無法提供足夠的亮度,因此各廠家將目光投向硅基OLED和Micro LED。相比硅基OLED,Micro LED具備更高的亮度但目前還僅限于單色,彩色Micro LED距離量產還有相當長的路要走,因此硅基OLED是當前以及較長一段時間內高端AR/VR眼鏡的首選。

圖片圖源:Nreal

市場方面,CINNO Research統計數據顯示,2021年全球AR/VR硅基OLED顯示面板市場規模約為6400萬美元。未來隨著AR/VR產業的發展以及硅基OLED技術的進一步滲透,預計至2025年全球AR/VR硅基OLED顯示面板市場規模將達到14.7億美元,2021年至2025年年均復合增長率CAGR將達119%。

圖片圖源:CINNO Research

  • 企業布局

國內外具備生產硅基OLED能力的企業很多,最早如美國的eMagin、法國的Micro OLED、國內的奧雷德,但大多是供應軍方,不具備供應消費市場的能力。目前消費市場上的硅基OLED屏多為Sony供應。國內方面,合肥視涯擁有12英寸硅基OLED產線,2017年成立,目前已量產出貨到消費市場,如Rokid Air、大疆Goggles 2均使用了視涯研發和生產的硅基OLED屏。最近,由于蘋果的需求,LG和三星也已經明確表態進軍硅基OLED領域,這表明微顯示屏在技術路線選擇上已趨于明朗,未來硅基OLED的產能將大幅提升,并將逐漸成為微顯示屏的主流技術。此趨勢與傳統顯示屏從LCD到OLED的演變過程非常類似。

圖片圖源:SAMSUNG DISPLAY

元宇宙或者說虛擬現實是龐大的生態系統,涉及的技術種類繁多,AR/VR眼鏡是虛擬世界的重要接口,微顯示屏是AR/VR眼鏡必不可少的重要部件,其重要性不言而喻。期待硅基OLED的進一步發展,帶來更好的虛擬現實體驗。


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